干燥箱烘箱系列
 百级无尘烘箱
百级无尘烘箱
一.用途:
  本所无尘烘箱系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
二.特点:
  1.在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class100
  2.全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;
  3.采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.AFilter20"×20"装置往前门(特殊风道设计)方向送风,过滤效率99.99%,Class100,排气口:3"φ(附自动启闭风门)
  4.强制送风循环方式。双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到最佳温度控制精度。
三.产品技术参数:
  1.主要技术指标:
   无尘等级:Class100;
   温度范围:60~+300℃;
   温度均匀度:200℃±4℃;
   温度波动度:±0.5℃(空载)
   温控精度:±0.1℃;
   工作尺寸:W800×D600×H1300
   电源:380v,50Hz,15KW
   网板:2块(高度可调节)
  2、箱体结构:
   烘箱由箱体部分、电器控制柜、电加热及风道系统组装而成,结构合理,外观美观大方;
   箱体材料:外箱采用SUS304,1.5mm之拉丝不锈钢,并经碱性苏打水清洁,可防止微尘;
   内胆材料:采用优质SUS304,2.0mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污避免烘烤时产生PARTICLE;
   中桶材料:采用优质SUS304,2.0mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污及氩焊密封加工(防污染)。
  3、温控系统:
   采用台湾“宣荣”CAHO温度控制器,控制器LED数字显示及设定、PID自动演算、薄膜设定,精确度±0.3%FS。
   讯号来源:采用PT100热电阻±0.5%。
   输出被控制组件:SSR无接点讯号输出。
  4、完善的安全保护措施:
   漏电断路器、控制线路保险丝装置、超温防止保护装置、电热过电流保护装置、马达过电流保护、机台异常蜂鸣器警示、逆向防止器、门面安全开关
  5、选购设备(需另外收费):
   可程式温控器、无纸记录仪、三色指示灯、烘烤架

注:无尘等级和尺寸可根据要求定制。


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